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8K\4K等高世代液晶面板滲透率攀升,銅制程逐漸取代鋁制程。銅蝕刻液功用在于控制銅蝕刻的方向性以及調控銅被蝕刻的速率,藉此蝕刻出平整的銅導線。

光華的銅蝕刻液在蝕刻mate 1的基礎下,在mate 2更復雜的制程中實現有選擇性的蝕刻,提供優異的銅蝕刻負載量,為面板行業在良率上提高一倍,即使在高銅離子濃度下亦可維持穩定蝕刻表現。

環保易處理、IGZO damage free、安全性高、高銅離子負載(>1000ppm)、無金屬殘留、高精細線化控制、CD loss~0.7μm

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